Sîstema Inline Sputtering Magnetron
Makîneya pêlavkirina magnetronê ya hundurîn bi giranî DC (an MF) pêlava kişandina magnetronê dikare ji cûrbecûr hedefan re were veguheztin, wek: sifir, titanium, krom, pola zengarnegir, nîkel û materyalên din ên metal ên ku dikarin bi karanîna pêvajoyek rijandinê ve werin xêzkirin. dikare girêdana fîlimê, ji nû ve hilberandinê, dendikê, yekrengî û taybetmendiyên din baştir bike.
- yek.Taybetmendî û pîvanên bingehîn
- b.Struktura xeta horizontî dikare ji aliyekî ve bi hevdemî were xêzkirin
- c.karîgeriya hilberînê, leza herî bilez heya 1 hûrdem / lêdan
- d.sêwirana modular, lênêrîna hêsan
- e.gihîştina pêvajoya plating, hilberîna bilind
- f.Dibe ku katodên sputterkirina magnetron DC li gorî daxwazên xerîdar cûda bibin
- g.pergala valahiya ji pompek mekanîkî, pompeyên Roots, pompeyên belavbûnê (pompa molekular) pêk tê.
- h.Dibe ku mezinahiya laşê xêz li gorî daxwazên xerîdar diguhere
- 1) Materyalên laşê jûreya valahiya SUS304 bikar tînin, tedawiya dîwarê jûreya valahiya paqij dikin, pêvajoya pêlavên şûştina dîwarê derveyî.
- 2) Bikaranîna valvek dergehek serbixwe di navbera jûreya valahiya - valveya flapper ji hev veqetîne, dikare bi bandor qut bike, gaza pêvajoyê aram bike.Heya nuha pargîdaniya me sêwirana valveya flapperê dipejirîne, ew ji valahiya pêlavê ya hevpar a navxweyî ya heyî çêtir, domdartir mor dike.
- 3) Veguheztin rêberê magnetîkî bikar tîne, aramiya ajotinê diparêze.Ji bo her leza tevahiya xeta hilberînê ku ajokera motora VVVF bikar tîne, leza xebitandinê dikare were sererast kirin.
- 4) Pergala Kontrola Elektrîkê: Kontrola otomatîkî ya Ekrana Têkilî û PLC, diyaloga mirov-makîne ji bo bidestxistina pergala nîşana daneyê, pîvanên xebitandinê û teknolojiya kontrolê
- 1) Zexta valahiya dawî: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) çerxa hilberîna navîn: li gorî hilbera diyarkirî
- 3) Mezinahiya xwediyê substratê: li gorî hewcedariyên meriv dikare were xweş kirin
- 4) Yekbûna fîlimê: ± 3% teknolojiya pêşkeftî ya qada mobîl karanîna armancê pir zêde kiriye
- Sêwirana germê ya dabeşkirî ji bo xweşbînkirina pêvajoyê re alîkar e.
Peyama xwe li vir binivîse û ji me re bişîne
